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      超純水制備系統工程

      發布時間:2024-05-24 14:08:05人氣:517

      案例名稱: 某半導體制造企業超純水制備系統工程

      案例背景
      某半導體制造企業為滿足其生產線對超純水的高品質需求,決定投資建設一套全新的超純水制備系統。該系統需要滿足嚴格的水質指標,如電阻率、總有機碳(TOC)、微粒和細菌含量等,以確保半導體器件的制造質量和可靠性。

      系統設計

      1. 預處理系統:采用多介質過濾器、活性炭過濾器和超濾器等設備,去除水中的懸浮物、膠體、有機物等雜質,為后續的深度處理提供良好的進水條件。

      2. 反滲透系統:采用高效的反滲透膜組件,通過壓力驅動使水分子通過膜層,截留水中的溶解性離子和有機物,得到高品質的淡水。

      3. EDI系統:在反滲透系統之后,設置EDI(電去離子)系統,利用電場和離子交換膜去除水中的剩余離子,進一步提高水質的純度。

      4. 終端處理系統:包括紫外線殺菌器、微孔過濾器等設備,確保超純水在最終使用前達到無菌、無微粒的狀態。

      5. 控制系統:采用PLC(可編程邏輯控制器)和觸摸屏等先進控制設備,實現系統的自動化運行和遠程監控,確保水質的穩定性和可靠性。

        Water Treatment System11.jpg

      實施過程

      1. 現場勘查與方案設計:工程師團隊對現場進行勘查,了解水源水質和用戶需求,制定詳細的設計方案。

      2. 設備選型與采購:根據設計方案,選擇合適的設備和材料,進行采購和定制。

      3. 系統安裝與調試:按照設計方案進行系統的安裝和調試,確保各設備之間的連接和配合準確無誤。

      4. 系統測試與驗收:在系統安裝完成后,進行全面的測試和驗收,確保系統能夠穩定運行并滿足設計要求。

      5. 操作培訓與售后服務:為用戶提供操作培訓和售后服務,確保用戶能夠熟練掌握系統的操作和維護方法。

      案例效果
      該超純水制備系統工程投入使用后,成功滿足了半導體制造企業對超純水的高品質需求。水質穩定可靠,符合設計要求,得到了用戶的高度認可和好評。同時,該工程也為企業節省了大量的用水成本和維護成本,提高了生產效率和經濟效益


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